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當前位置:首頁產品中心晶圓檢測自由曲面三維面型檢測儀

自由曲面三維面型檢測儀

產品簡介

自由曲面三維面型檢測儀
自由曲面光學元件應用于智能車載顯示、AR 顯示、手機鏡頭、激光顯示、照明、 光刻等前沿領域,自由曲面三維面型檢測儀,能夠非接觸測量光學鏡面元件的三維面型數據,開展三維輪廓分析和三維誤差比對,并生成包含多項面型誤差指標的測量報告。
從產品研發到生產過程及質量控制,這款獨立的系統可用于開展光學設計、加工與檢測的前端研發設計過程、智能生產過程和后端質量檢測過程。

產品型號:
更新時間:2024-09-24
廠商性質:代理商
訪問量:2243
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自由曲面三維面型檢測儀

優勢

√ 對各種自由曲面光學元件的表面進行非接觸全口徑測量

簡單、精確、快速、可重復的測量方式,表面無需噴粉處理

√ 自動完成數據比對分析誤差,完善的三維分析功能

測量功能


三維面型數據測量

√ 面型逆向分析

 

√ 面型輪廓精度評價

適用對象

自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、精密模具、玻璃面板、透鏡、微透鏡陣列、 晶圓片等

測量原理

結構光反射三維重構原理: 多相機拍攝經被測鏡面反射的變形的結構光圖案,通過重構算法計算被測鏡面的三維面型,通過與理想面型數據進行比對,獲得自由曲面的面型誤差分布和其它分析數據

√ 采用優化系統結構設計、高精度標定方法和先進的重構算法實現高測量精度

自由曲面三維面型檢測儀自由曲面三維面型檢測儀

600mm口徑的大反射鏡,到1mm口徑的微透鏡陣列,自由曲面測量系統提供全面的面型測量能力。

測量分析軟件

具有豐富分析功能同時易用性強的三維測量分析軟件,包括: 三維輪廓誤差 PVRMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各種多項式擬合、空間濾波和各類數據導

自由曲面三維面型檢測儀

自由曲面三維面型檢測儀

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