NanoFocus μScan（激光掃描輪廓儀）

產品簡介

AF2 自動對焦(Autofocus)

借由探測器的回饋訊號調整物鏡位置，得到待測物焦點，而獲得待測物的確實高度(如下左圖)。

CF4 共軛焦(Confocal, Laser)

激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，此時偵測器能經由孔洞得到Z大光的強度，如此偵測器根據此訊號確定其位置

產品型號：μScan

更新時間：2024-06-17

廠商性質：代理商

訪問量：2564

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AF2 自動對焦（Autofocus）

借由探測器的回饋訊號調整物鏡位置，得到待測物焦點，而獲得待測物的確實高度（如下左圖）。

CF4 共軛焦（Confocal, Laser）

激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，此時偵測器能經由孔洞得到zui大光的強度，如此偵測器根據此訊號確定其位置（如下右圖）。

AF2

CF4

n 應用

ü 集成電路封裝和表面貼片技術

ü 厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量

ü 精密部件

[1] BGA [2] thick film [3] dispenser dots [4] laminate
n 技術參數

Scan modules	Measuring range in x,y-direction [mm]	Resolution in x,y-direction [mm]	Positioning range in z-direction [mm]	Max. measuring speed [mm/s]
SC 50	50X50	0.5	100	50
SC 100	100x100	0.5	100	50
SC 150	150x150	0.5	100	50
SC 200	200x200	0.5	100	50
other dimensions on request

Sensors		Resolution z [μm]	Resolution x,y [μm]	Working distance [mm]	Measuring range in z-direction [mm]	Camera （optional）
Confocal point sensor	CF 4	0.02	1	4	1.0	off-axis
	CF 13	0.02	1	13	1.0	（BMT5）
Autofocus sensor	AF 2	0.025/0.011^1）	1	2	1.5/0.65^1）	integrated
Autofocus sensor	AF 5	0.025/0.011^1）	1	5	1.5/0.65^1）	（BMT3）
Chromatic white light sensor	CRT 5^2）	0.010	4	5	0.3	off-axis （BMT5）
	CRT 12^2）	0.025	4	12	1.0
	CRT 16^2）	0.075	8	16	3.0
Holographic sensor	CP 15	3.0	12	12	1.8	integrated （BMT 4）
	CP 42	6.0	15	42	8.0
	CP 65	10.0	25	65	18.0
1） with restricted measuring range 2） with 1, 4 or 30 kHz measuring frequency available

Modules
System controller	High performance industrial PC, DVD-Writer, network card, Windows XP Professional
Cabinet and work table MT 70	Stable container for electronic modules with work table 1550x800x750 （lxh in mm）
Granite measuring stand MP 100	Portal construction, 660x450x497 （lxh in mm） for SC 50 to SC 150
Granite measuring stand MP 200	Portal construction, 680x480x385 （lxh in mm） from SC 200
NF μsoft standard software	NanoFocus control and evaluation software, profile and topography representation, roughness calculation compliant with DIN EN ISO

Options
NF 3D-Plus	Photo-realistic 3D presentation of topographical data （OpenGL）
NF Active X	Interface modules to program individual measurement processes and calculations （Excel/VBA）
NF Hybridmaster	Automation tool for the use of μscan® in thick film production incl. SPC and teach in module
NF Flatmaster	Automated measurement of straightness, flatness and warpage
NF Solder	Automated off-line measurement of fine pitch solderpaste print in SMT production
NF AutoScan	Automated measurement of profiles and surfaces at arbitrary measurement points