非接觸式優點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸，保護了測量裝置，同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差。 Zeta-20三維光學輪廓儀集成了六種光學計量技術。 ZDot 測量模式同時采集高分辨率 3D 掃描和真彩色無限對焦圖像。其他測量技術包括白光干涉法、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審查或自動缺陷檢測。

Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術的經濟三維光學輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。 我司有此機器可測樣。

從產品研發到質量控制，該系統可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進行表面微觀測量分析和粗糙度質量評價。白光干涉原理。